等離子清洗機在集成電路制做過(guò)程中的應用

　　等離子清洗機作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免靜電損傷。在集成電路的制程中，會(huì )產(chǎn)生許多種類(lèi)的污染物，包括氟化樹(shù)脂、氧化物、環(huán)氧樹(shù)脂、焊料、光刻蝕劑等，這些污染物將嚴重影響集成電路及其元器件的可靠性和合格率。等離子清洗作為一種能有效去除表面污染物的工藝技術(shù)被廣泛應用于集成電路的制程中。

　　等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四中狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

　　等離子清洗機在金屬去油及清潔方面的應用：

　　金屬表面常常會(huì )有油脂、油污等有機物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。焊接操作前：通常印刷線(xiàn)路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)需要采用等離子方法去除，否則會(huì )帶來(lái)腐蝕等問(wèn)題。

　　鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過(guò)等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進(jìn)行等離子清潔。

　　等離子清洗機不需要使用大量的酸、堿、有機溶劑等，不會(huì )給環(huán)境帶來(lái)任何污染，有利于環(huán)保和人員安全，同時(shí)該清洗技術(shù)的均勻性、重復性和可控性非常好，具有三維處理能力，可以進(jìn)行方向選擇。它的特點(diǎn)是沒(méi)有正負電極，自偏壓很小，不會(huì )產(chǎn)生放電污染，有效防止靜電損傷；等離子密度高，生產(chǎn)效率高；離子運動(dòng)沖擊小，不會(huì )產(chǎn)生UV（紫外線(xiàn)）輻射，尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。