等離子表面處理儀可以大大改善封裝可靠性

　　目前組裝技術(shù)的趨勢主要是SIP、BGA、CSP封裝使半導體器件向模塊化、高集成化和小型化方向發(fā)展。在這樣的封裝與組裝工藝中，問(wèn)題是粘結填料處的有機物污染和電加熱中形成的氧化膜等。由于在粘結表面有污染物存在，導致這些元件的粘接強度降低和封裝后樹(shù)脂的灌封強度降低，直接影響到這些元件的組裝水平與繼續發(fā)展。為提高與改善這些元件的組裝能力，都在想盡一切辦法進(jìn)行處理。提高實(shí)踐證明，在封裝工藝中適當地引入等離子表面處理儀進(jìn)行表面處理，可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。

　　離子體通常稱(chēng)作物質(zhì)的第四種狀態(tài)，前三種狀態(tài)是固體、液體、氣體，它們是比較常見(jiàn)的，就存在于我們周?chē)?。離子體盡管在宇宙的別處非常豐富，但在地球上只存在于某種特定環(huán)境。離子體的自然存在包括閃電、北極光。就好像把固體轉變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。

　　當溫度升高時(shí)，物質(zhì)就由固體變成液體，液體則會(huì )變成氣體。當氣體的溫度升高時(shí)，此氣體分子會(huì )分離成為原子，若溫度繼續上升，圍繞在原子核周?chē)碾娮泳蜁?huì )脫離原子成離子（正電荷）與電子（負電荷），此現象稱(chēng)為“電離”。因電離現象而帶有電荷離子的氣體便稱(chēng)為“等離子（PLASMA）”。因此通常將等離子歸類(lèi)為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態(tài)以外的“第四態(tài)”。

　　等離子表面處理儀主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無(wú)機氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發(fā)，產(chǎn)生含有離子、激發(fā)態(tài)分子，自由基等多種活性粒子。一般在等離子清洗中，可把活化氣體分為兩類(lèi)，一類(lèi)為惰性氣體的等離子體（如Ar2、N2等）；另一類(lèi)為反應性氣體的等離子體（如02、H2等）。等離子產(chǎn)生的原理如下：給一組電極施以射頻電壓（頻率約為幾十兆赫茲），電極之間形成高頻交變電場(chǎng)，區域內氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下，產(chǎn)生等離子體?；钚缘入x子對被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達到清洗目的。