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CIF專(zhuān)注材料表面處理技術(shù),為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)清洗、去膠、刻蝕、涂層等方面儀器裝備和應用工藝解決方案！產(chǎn)品參數
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 7 寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監測工藝參數狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，工藝數據可存儲追溯。
◆ PLC 工控機控制整個(gè)去膠過(guò)程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 石英真空艙，全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無(wú)污染。
◆ 可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應用。
◆ 采用花灑式多孔道進(jìn)氣方式，改變單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。
◆ 采用防腐數字流量計，實(shí)現對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統，可選多氣路氣體輸送系統，氣體分配均勻。 可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體。
◆ HEPA 高效過(guò)濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
◆ 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。
◆ 樣品處理溫度低，無(wú)熱損傷和熱氧化。
◆ 安全保護，艙門(mén)打開(kāi)，自動(dòng)關(guān)閉電源，機器運行、停止提示。
2024-07-26 
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